氟塑料花篮在半导体行业的典型利用
1. 资料选择凭据
耐侵蚀性：PFA/PTFE可抵抗氢氟酸、强碱等半导体洗濯液侵蚀，预防传染晶圆。
高纯度：金属离子含量<0.1ppb，满足半导体造作对超净载具的要求。
低摩擦系数：表表光滑（摩擦系数0.02~0.1），削减晶圆划感冒险。
2. 主流氟塑料类型
PFA花篮：可熔融加工，适合复杂结构注塑，持久耐温260℃。
PTFE花篮：通过烧结成型，耐温更高（300℃），但加工难度较大。
PVDF花篮：机械强杜着异，合用于高载荷场景。
3. 现实利用场景
晶圆洗濯：承载硅片浸入酸槽（如氢氟酸），PFA花篮可耐受500幼时以上侵蚀。
高温工艺：CVD设备中PTFE花篮可不变工作于300℃环境。
运输存储：PVDF花篮用于太阳能电池片转运，抗紫表线老化。
注：聚丙烯（PP）花篮因成本低也有利用，但耐化学性远逊于氟塑料
